島津企業(yè)管理(中國(guó))有限公司是(株)島津制作所于1999年100%出資,在中國(guó)設(shè)立的現(xiàn)地法人公司,在中國(guó)全境擁有13個(gè)分公司,事業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大。其下設(shè)有北京、上海、廣州、沈陽(yáng)、成都分析中心,并擁有覆蓋全國(guó)30個(gè)省的銷售代理商網(wǎng)絡(luò)以及60多個(gè)技術(shù)服務(wù)站,已構(gòu)筑起為廣大用戶提供良好服務(wù)的完整體系。本公司以 為了人類和地球的健康 為經(jīng)營(yíng)理念,始終致力于為用戶提供更加先進(jìn)的產(chǎn)品和更加滿意的服務(wù),為中國(guó)社會(huì)的進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。
開(kāi)拓了激光顯微鏡的界限。
-總是值得信賴的影像和測(cè)量-
非接觸式、無(wú)損、快速成像和測(cè)量
○ 非接觸式、無(wú)損測(cè)量
激光掃描顯微鏡(LSM)采用低功率激光,不接觸樣品。因此,不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x那樣存在損壞樣品的風(fēng)險(xiǎn)。

○ 無(wú)需前期準(zhǔn)備即可成像
掃描電子顯微鏡(SEM)在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備,如真空脫水和/或切片處理,使之適合樣品室。而LSM則無(wú)需前期的樣品準(zhǔn)備即可對(duì)樣品進(jìn)行測(cè)量。而且,將樣品放置在載物臺(tái)上之后,即可直接開(kāi)始成像。

卓越的XY測(cè)量
○ 在XY平面精確測(cè)量亞微米級(jí)的距離
干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡,它的平面分辨率不高。而LSM通過(guò)采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長(zhǎng)的光波,極大地提高了平面分辨率。并且通過(guò)高精度的激光控制技術(shù),獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像,LSM可以進(jìn)行非常精確的XY平面亞微米測(cè)量。LEXT OLS4100達(dá)到了0.12 m的平面分辨率。

卓越的Z軸測(cè)量
○ 在Z方向上精確測(cè)量亞微米級(jí)的高度
SEM可以拍攝到超高分辨率的影像,但是無(wú)法得到高度信息。LSM采用短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光和獨(dú)有的雙共焦光學(xué)系統(tǒng),會(huì)刪除未聚焦區(qū)域的信號(hào),只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測(cè)為同一高度。同時(shí)結(jié)合高精度的光柵讀取能力,可以生成高畫(huà)質(zhì)的影像,實(shí)現(xiàn)精確的3D測(cè)量。LEXT OLS4100達(dá)到了10nm的高度分辨率。