島津企業(yè)管理（中國）有限公司是（株）島津制作所于1999年100%出資，在中國設(shè)立的現(xiàn)地法人公司，在中國全境擁有13個分公司，事業(yè)規(guī)模不斷擴大。其下設(shè)有北京、上海、廣州、沈陽、成都分析中心，并擁有覆蓋全國30個省的銷售代理商網(wǎng)絡(luò)以及60多個技術(shù)服務(wù)站，已構(gòu)筑起為廣大用戶提供良好服務(wù)的完整體系。本公司以 為了人類和地球的健康 為經(jīng)營理念，始終致力于為用戶提供更加先進(jìn)的產(chǎn)品和更加滿意的服務(wù)，為中國社會的進(jìn)步貢獻(xiàn)力量。

開拓了激光顯微鏡的界限。
－總是值得信賴的影像和測量－

非接觸式、無損、快速成像和測量

○ 非接觸式、無損測量

激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品。因此，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀那樣存在損壞樣品的風(fēng)險。

○ 無需前期準(zhǔn)備即可成像

掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備，如真空脫水和/或切片處理，使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準(zhǔn)備即可對樣品進(jìn)行測量。而且，將樣品放置在載物臺上之后，即可直接開始成像。

 卓越的XY測量

○ 在XY平面精確測量亞微米級的距離

干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡，它的平面分辨率不高。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長的光波，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術(shù)，獲得更為精確的樣品表面形貌。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進(jìn)行非常精確的XY平面亞微米測量。LEXT OLS4100達(dá)到了0.12 m的平面分辨率。

卓越的Z軸測量

○ 在Z方向上精確測量亞微米級的高度
 

SEM可以拍攝到超高分辨率的影像，但是無法得到高度信息。LSM采用短波長半導(dǎo)體激光和獨有的雙共焦光學(xué)系統(tǒng)，會刪除未聚焦區(qū)域的信號，只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度。同時結(jié)合高精度的光柵讀取能力，可以生成高畫質(zhì)的影像，實現(xiàn)精確的3D測量。LEXT OLS4100達(dá)到了10nm的高度分辨率。