光滑表面缺陷自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng) 杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司

價(jià)格：面議

生產(chǎn)地：品牌：

型號(hào)：公司傳真：86-0571-88077926

移動(dòng)電話：13777384712更新時(shí)間：2018-06-15

杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)創(chuàng)立于2008年，經(jīng)過(guò)近10年公司同仁共同的的努力和發(fā)展，公司在光譜儀器、激光器系統(tǒng)及配件，生物光學(xué)和量子光學(xué)等領(lǐng)域和應(yīng)用有非常多的經(jīng)驗(yàn)和解決方案，同時(shí)也組建了一支專業(yè)的銷售和服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

 

公司秉承專業(yè)服務(wù)客戶為上的目標(biāo)，一直嚴(yán)格要求，以盡善盡美為工作方向，和客戶一起前行。目前公司在光譜儀器和激光檢測(cè)系統(tǒng)方面有自己的研發(fā)能力，開發(fā)出了便攜式土壤重金屬分析儀（LIBS）、便攜式紅寶石標(biāo)壓系統(tǒng)、顯微拉曼測(cè)量系統(tǒng)等。同時(shí)公司時(shí)刻關(guān)注全球較早Z前沿的技術(shù)和產(chǎn)品，目前代理包括微型光纖光譜儀、紅外光譜儀，飛秒激光器，納秒激光器，可調(diào)諧激光器，窄線寬激光器，He-Ne激光器等各種激光器和配件。同時(shí)代理各類光電檢測(cè)設(shè)備，包括功率計(jì)、能量計(jì)、光束質(zhì)量分析系統(tǒng)、脈寬測(cè)量探測(cè)器和自相關(guān)儀、偏振態(tài)測(cè)量系統(tǒng)。還有代理各類光學(xué)配件，包括光學(xué)元器件，位移系統(tǒng)，濾波片。

 

目前公司主要代理品牌如下：

美國(guó)海洋光學(xué)：光纖光譜儀及配件；

美國(guó)CEO：激光二極管，二極管側(cè)泵模塊，各類納秒激光器，激光控制器；

奧地利Montfrot：適用于便攜的超緊湊納秒高能量激光器，大功率皮秒、飛秒激光器；

美國(guó)EOT：高品質(zhì)隔離器、各類光電探測(cè)器；

美國(guó)DataRay: 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)及配件；

德國(guó)CarbonVision：高品質(zhì)碳纖維面包板及定制產(chǎn)品；

丹麥DFM：?jiǎn)晤l激光器；

德國(guó)GRINTECH：自聚焦透鏡、生物醫(yī)學(xué)用定制透鏡系統(tǒng)；

法國(guó)IRISIOME:皮秒可編程調(diào)諧激光器；

德國(guó)LIOP：超穩(wěn)定高精度光學(xué)調(diào)整架及光機(jī)械產(chǎn)品；

德國(guó)MRC：光束自穩(wěn)定系統(tǒng)；

立陶宛QLI:高能量緊湊風(fēng)冷納秒激光器，可五倍頻到213nm；

美國(guó)Axsun：OCT用高速掃頻激光光源；

ProSP：各類定制光譜系統(tǒng)；

立陶宛Integrated Optics：超緊湊穩(wěn)定的半導(dǎo)體和DPSS激光器；

德國(guó)Class 5：高功率飛秒激光器系統(tǒng)，OPCPA系統(tǒng)。

圖1 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)外型圖（配百級(jí)超凈工作臺(tái)）

 

 

光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)是利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像技術(shù)與先進(jìn)的基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的數(shù)字圖像處理算法結(jié)合研制的新穎非接觸的檢測(cè)設(shè)備。系統(tǒng)具有環(huán)形分布的光源可以采集任意方向疵病的CCD圖像；利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像可以達(dá)到對(duì)被測(cè)缺陷實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的分辨率；精密的二維掃描系統(tǒng)與數(shù)字圖像處理算法結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑表面缺陷完成子孔徑掃描和拼接；采用二元光學(xué)的標(biāo)準(zhǔn)板定標(biāo)程序及可以實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷如劃痕幾何尺寸的定量檢測(cè)并精確確定光滑表面上每個(gè)缺陷的幾何參數(shù)的方位，最終自動(dòng)輸出缺陷檢測(cè)報(bào)告。該系統(tǒng)是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊甬英等教授集多年基礎(chǔ)、數(shù)年攻關(guān)完成的目前國(guó)內(nèi)首臺(tái)可以對(duì)各種光滑的光學(xué)元件和金屬表面的各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊等疵病實(shí)現(xiàn)高分辨率、快速、數(shù)字化定量檢測(cè)的先進(jìn)的高科技設(shè)備，可有效解決人為的目視觀察評(píng)估由于主觀因素介入導(dǎo)致檢測(cè)的準(zhǔn)確度低，效率低的難題。系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑的金屬及硅片表面、手機(jī)外殼、微縮文字等各類表面缺陷的檢測(cè)和文字校驗(yàn)。

儀器技術(shù)指標(biāo)：

1. 被檢缺陷樣品的檢測(cè)口徑：50mm 50mm～100mm 100mm，更大口徑可由用戶提出研制；

2. 缺陷檢測(cè)分辨率：最小可達(dá)微米量級(jí)；

3. 檢測(cè)的缺陷幾何特征：各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗(yàn)；

4. 照明及成像系統(tǒng)：環(huán)形均勻光源照明系統(tǒng)、0.7 ～4.5 變倍顯微鏡成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)顯微散射暗場(chǎng)成像；

5. 檢測(cè)方法：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制二維移導(dǎo)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑表面的子孔徑掃描；

6. 標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)：利用二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板定量評(píng)估；

7. 儀器檢測(cè)精度：幾何長(zhǎng)度相對(duì)誤差優(yōu)于2%、劃痕寬度誤差控制在微米量級(jí)；

8. 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)：科學(xué)級(jí)CCD相機(jī)，空間分辨率約1K 1K左右或更高。

9. 自動(dòng)化評(píng)估軟件要求：

 

全口徑子孔徑掃描控制、圖像匹配拼接、圖像數(shù)據(jù)處理軟件；二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板數(shù)據(jù)庫(kù)及評(píng)估系統(tǒng)；全口徑表面缺陷分布及類型的數(shù)據(jù)輸出；微縮文字缺損校驗(yàn)評(píng)估；軟件具有友好的人機(jī)交互圖形工作界面，工作于Windows2000以上平臺(tái)。

應(yīng)用范圍：

本系統(tǒng)可應(yīng)用于高科技的光學(xué)、材料、微電子等國(guó)民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域：

1. 系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件等光滑的光學(xué)元件表面的任意方向缺陷如各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè)，并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。

2. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的金屬及硅片表面的疵病進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè)，并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。

3. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的手機(jī)外殼、高精度的液晶屏進(jìn)行表面的劃痕、麻點(diǎn)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化定量檢測(cè)。

4. 對(duì)各種精密的具有微縮文字的光滑表面實(shí)現(xiàn)文字的缺損檢測(cè)。

圖2是對(duì)一光滑的光學(xué)元件表面缺陷進(jìn)行圖像預(yù)處理后的軟件界面。

圖3是自動(dòng)化顯示該元件表面缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面。

圖4 是自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告的界面。

     

圖2 光滑表面缺陷圖像預(yù)處理后的軟件界面

 

圖3 自動(dòng)化顯示缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面

 

圖4 自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告

 

部分訂制清單：

14K高速線陣相機(jī)Zer-OSC-01

Resolution 4K；4 Lines 疊加或獨(dú)立成像；

敏感波長(zhǎng)范圍介于500nm至650nm之間；

支持最大掃描頻率200kHz；單色，

單相元大小10.56 m。

2高分辨率高速相機(jī)Zer-OSC-21

像素：500萬(wàn)（2500x2000），

探測(cè)面積：6X4.5mm，

波長(zhǎng)范圍：500-1100nm，

最大采集速度：60幀/S，USB3.0傳輸。

3成像鏡頭Zer-OSM-01

同軸高分辨成像鏡頭，500萬(wàn)分辨率，

工作距100mm；

4二維精密導(dǎo)軌Zer-100x100

行程：100x100mm，重復(fù)定位精度：1um，

分辨率：0.5um，最大速度：20mm/s

5六維電控調(diào)節(jié)臺(tái)Zer-6-003

調(diào)節(jié)維度：XYZ平移，XYZ旋轉(zhuǎn)，

平移行程：10mm，

重復(fù)定位精度：300nm，分辨率：50nm，

最大速度：5mm/s，旋轉(zhuǎn)角度范圍+/-2 ，

重復(fù)定位精度：0.01 ，分辨率：0.005 。

6高亮照明光源Zer-OSL-01

高均勻性同軸光源，同軸偏差小于2 ，

出光尺寸40x40，最大照度優(yōu)于50WLX

7照明用漫射板Zer-DF-64透射度30%、50%、70%可定8大功率數(shù)字控制器Zer-OSLD-01

256級(jí)亮度控制；支持RS232通信；

支持手動(dòng)調(diào)節(jié)及掉電保護(hù)；

支持頻率介于10KHZ高頻控制。

9面陣用高亮照明光源Zer-OSL-02

高均勻性同軸光源，同軸偏差小于2 ，

出光尺寸60x60；最大照度優(yōu)于50WLX