光滑表面缺陷自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)
杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司
價(jià)格:面議
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杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)創(chuàng)立于2008年,經(jīng)過近10年公司同仁共同的的努力和發(fā)展,公司在光譜儀器、激光器系統(tǒng)及配件,生物光學(xué)和量子光學(xué)等領(lǐng)域和應(yīng)用有非常多的經(jīng)驗(yàn)和解決方案,同時(shí)也組建了一支專業(yè)的銷售和服務(wù)團(tuán)隊(duì)。 公司秉承專業(yè)服務(wù)客戶為上的目標(biāo),一直嚴(yán)格要求,以盡善盡美為工作方向,和客戶一起前行。目前公司在光譜儀器和激光檢測(cè)系統(tǒng)方面有自己的研發(fā)能力,開發(fā)出了便攜式土壤重金屬分析儀(LIBS)、便攜式紅寶石標(biāo)壓系統(tǒng)、顯微拉曼測(cè)量系統(tǒng)等。同時(shí)公司時(shí)刻關(guān)注全球較早Z前沿的技術(shù)和產(chǎn)品,目前代理包括微型光纖光譜儀、紅外光譜儀,飛秒激光器,納秒激光器,可調(diào)諧激光器,窄線寬激光器,He-Ne激光器等各種激光器和配件。同時(shí)代理各類光電檢測(cè)設(shè)備,包括功率計(jì)、能量計(jì)、光束質(zhì)量分析系統(tǒng)、脈寬測(cè)量探測(cè)器和自相關(guān)儀、偏振態(tài)測(cè)量系統(tǒng)。還有代理各類光學(xué)配件,包括光學(xué)元器件,位移系統(tǒng),濾波片。 目前公司主要代理品牌如下: 美國海洋光學(xué):光纖光譜儀及配件; 美國CEO:激光二極管,二極管側(cè)泵模塊,各類納秒激光器,激光控制器; 奧地利Montfrot:適用于便攜的超緊湊納秒高能量激光器,大功率皮秒、飛秒激光器; 美國EOT:高品質(zhì)隔離器、各類光電探測(cè)器; 美國DataRay: 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)及配件; 德國CarbonVision:高品質(zhì)碳纖維面包板及定制產(chǎn)品; 丹麥DFM:單頻激光器; 德國GRINTECH:自聚焦透鏡、生物醫(yī)學(xué)用定制透鏡系統(tǒng); 法國IRISIOME:皮秒可編程調(diào)諧激光器; 德國LIOP:超穩(wěn)定高精度光學(xué)調(diào)整架及光機(jī)械產(chǎn)品; 德國MRC:光束自穩(wěn)定系統(tǒng); 立陶宛QLI:高能量緊湊風(fēng)冷納秒激光器,可五倍頻到213nm; 美國Axsun:OCT用高速掃頻激光光源; ProSP:各類定制光譜系統(tǒng); 立陶宛Integrated Optics:超緊湊穩(wěn)定的半導(dǎo)體和DPSS激光器; 德國Class 5:高功率飛秒激光器系統(tǒng),OPCPA系統(tǒng)。

圖1 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)外型圖(配百級(jí)超凈工作臺(tái)) 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)是利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像技術(shù)與先進(jìn)的基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的數(shù)字圖像處理算法結(jié)合研制的新穎非接觸的檢測(cè)設(shè)備。系統(tǒng)具有環(huán)形分布的光源可以采集任意方向疵病的CCD圖像;利用光學(xué)顯微散射暗場(chǎng)成像可以達(dá)到對(duì)被測(cè)缺陷實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的分辨率;精密的二維掃描系統(tǒng)與數(shù)字圖像處理算法結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑表面缺陷完成子孔徑掃描和拼接;采用二元光學(xué)的標(biāo)準(zhǔn)板定標(biāo)程序及可以實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷如劃痕幾何尺寸的定量檢測(cè)并精確確定光滑表面上每個(gè)缺陷的幾何參數(shù)的方位,最終自動(dòng)輸出缺陷檢測(cè)報(bào)告。該系統(tǒng)是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊甬英等教授集多年基礎(chǔ)、數(shù)年攻關(guān)完成的目前國內(nèi)首臺(tái)可以對(duì)各種光滑的光學(xué)元件和金屬表面的各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊等疵病實(shí)現(xiàn)高分辨率、快速、數(shù)字化定量檢測(cè)的先進(jìn)的高科技設(shè)備,可有效解決人為的目視觀察評(píng)估由于主觀因素介入導(dǎo)致檢測(cè)的準(zhǔn)確度低,效率低的難題。系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件、光滑的金屬及硅片表面、手機(jī)外殼、微縮文字等各類表面缺陷的檢測(cè)和文字校驗(yàn)。 儀器技術(shù)指標(biāo): 1. 被檢缺陷樣品的檢測(cè)口徑:50mm 50mm~100mm 100mm,更大口徑可由用戶提出研制; 2. 缺陷檢測(cè)分辨率:最小可達(dá)微米量級(jí); 3. 檢測(cè)的缺陷幾何特征:各種劃痕、麻點(diǎn)、破邊等、文字缺損校驗(yàn); 4. 照明及成像系統(tǒng):環(huán)形均勻光源照明系統(tǒng)、0.7 ~4.5 變倍顯微鏡成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)顯微散射暗場(chǎng)成像; 5. 檢測(cè)方法:計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制二維移導(dǎo)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑表面的子孔徑掃描; 6. 標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià):利用二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板定量評(píng)估; 7. 儀器檢測(cè)精度:幾何長度相對(duì)誤差優(yōu)于2%、劃痕寬度誤差控制在微米量級(jí); 8. 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):科學(xué)級(jí)CCD相機(jī),空間分辨率約1K 1K左右或更高。 9. 自動(dòng)化評(píng)估軟件要求: 全口徑子孔徑掃描控制、圖像匹配拼接、圖像數(shù)據(jù)處理軟件;二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板數(shù)據(jù)庫及評(píng)估系統(tǒng);全口徑表面缺陷分布及類型的數(shù)據(jù)輸出;微縮文字缺損校驗(yàn)評(píng)估;軟件具有友好的人機(jī)交互圖形工作界面,工作于Windows2000以上平臺(tái)。應(yīng)用范圍: 本系統(tǒng)可應(yīng)用于高科技的光學(xué)、材料、微電子等國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域: 1. 系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔、微光元件等光滑的光學(xué)元件表面的任意方向缺陷如各種劃痕、麻點(diǎn)、碎邊進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè),并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。 2. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的金屬及硅片表面的疵病進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測(cè),并實(shí)時(shí)輸出檢測(cè)報(bào)告。 3. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的手機(jī)外殼、高精度的液晶屏進(jìn)行表面的劃痕、麻點(diǎn)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化定量檢測(cè)。 4. 對(duì)各種精密的具有微縮文字的光滑表面實(shí)現(xiàn)文字的缺損檢測(cè)。 圖2是對(duì)一光滑的光學(xué)元件表面缺陷進(jìn)行圖像預(yù)處理后的軟件界面。 圖3是自動(dòng)化顯示該元件表面缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面。 圖4 是自動(dòng)化輸出缺陷(劃痕)信息報(bào)告的界面。  圖2 光滑表面缺陷圖像預(yù)處理后的軟件界面 
圖3 自動(dòng)化顯示缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面 圖4 自動(dòng)化輸出缺陷(劃痕)信息報(bào)告 部分訂制清單: 14K高速線陣相機(jī)Zer-OSC-01Resolution 4K;4 Lines 疊加或獨(dú)立成像; 敏感波長范圍介于500nm至650nm之間; 支持最大掃描頻率200kHz;單色, 單相元大小10.56 m。 2高分辨率高速相機(jī)Zer-OSC-21像素:500萬(2500x2000), 探測(cè)面積:6X4.5mm, 波長范圍:500-1100nm, 最大采集速度:60幀/S,USB3.0傳輸。 3成像鏡頭Zer-OSM-01同軸高分辨成像鏡頭,500萬分辨率, 工作距100mm; 4二維精密導(dǎo)軌Zer-100x100行程:100x100mm,重復(fù)定位精度:1um, 分辨率:0.5um,最大速度:20mm/s 5六維電控調(diào)節(jié)臺(tái)Zer-6-003調(diào)節(jié)維度:XYZ平移,XYZ旋轉(zhuǎn), 平移行程:10mm, 重復(fù)定位精度:300nm,分辨率:50nm, 最大速度:5mm/s,旋轉(zhuǎn)角度范圍+/-2 , 重復(fù)定位精度:0.01 ,分辨率:0.005 。 6高亮照明光源Zer-OSL-01高均勻性同軸光源,同軸偏差小于2 , 出光尺寸40x40,最大照度優(yōu)于50WLX 7照明用漫射板Zer-DF-64透射度30%、50%、70%可定8大功率數(shù)字控制器Zer-OSLD-01256級(jí)亮度控制;支持RS232通信; 支持手動(dòng)調(diào)節(jié)及掉電保護(hù); 支持頻率介于10KHZ高頻控制。 9面陣用高亮照明光源Zer-OSL-02高均勻性同軸光源,同軸偏差小于2 , 出光尺寸60x60;最大照度優(yōu)于50WLX
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