微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
那諾中國有限公司
價格：￥1元
生產(chǎn)地：美國品牌：美國那諾-馬斯特
型號：公司傳真：86-021-31663529
移動電話：18916157635更新時間：2017-09-21
ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，熱真空試驗，晶圓清洗機，PA-MOCVD
那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備、德國阿爾法微波等離子清洗去膠機等。
微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述：    NPE-4000能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到zui大可達12"直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵，腔體可以達到低至10-7 torr的真空。標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無論是等離子強度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。產(chǎn)品特點： 不銹鋼或鋁制腔體 極限真空可達10-7Torr RF淋浴頭，H... [詳細介紹]