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脈沖激光沉積 NPD-4000(M)PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)
NPD-4000(M)PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)機制:PLD的系統(tǒng)設(shè)備簡單,相反,它的原理卻是非常復(fù)雜的物理現(xiàn)象。它涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時,激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用,亦包括等離子羽狀物的形成,其后已熔化的物質(zhì)通過等離子羽狀物到達已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移,及z后的膜生成過程。所以,PLD一般可以分為以下四個階
2025-01-23
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